经典案例

台湾某半导体厂应用案例

        为了厘清厂区空气污染物是自厂排放还是旁边厂区扩散而来，在自厂区架设了在线监测设备构建局部监测网络，利用污染源追踪技术，监测分析表明仅 CF4、 SF6、 N2O 为自厂排放污染物，而 NH3、 C2F6、 CH3OH 等污染物均为其他厂区污染物扩散而来。